重點關(guān)注
超純水中溶解氧對半導(dǎo)體制造的重要性
什么是超純水?
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超純水應(yīng)用領(lǐng)域
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半導(dǎo)體工業(yè) 制藥工業(yè)
生物科技 實驗室
應(yīng)用
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在超純水應(yīng)用中需要測量什么氣體?
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1、溶解氧;2、溶解臭氧;3、溶解氫和氮;
在超純水應(yīng)用中為什么要測量溶解氧和溶解臭氧?
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1、 減少超純水中的有機(jī)感染物。
2、 增加半導(dǎo)體的產(chǎn)出。
3、 在臭氧化過程之后,由于臭氧是應(yīng)用中的不想要的感染物,所以必須被保持在一定濃度以下。
關(guān)于水中的溶解氣體:
超純水在制藥工業(yè)中的應(yīng)用
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超純水在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用
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超純水的應(yīng)用如此關(guān)鍵是因為以下幾個原因:
- 感染性微生物會在半導(dǎo)體表面造成一個不利的電路,造成短路并形成不能使用的芯片。
- 有機(jī)物體留下的微粒會影響生產(chǎn)過程和芯片的質(zhì)量。
- 過高的溶解氧會潛在的改變已控制的氧化面厚度,進(jìn)而改變集成電路的電流特性。
晶體熱氧化中溶解氧的影響:
在半導(dǎo)體工業(yè)中典型的超純水處理系統(tǒng)設(shè)計遵循以下步驟(如下圖1):
超純水中氧氣測量
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超純水中臭氧測量
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半導(dǎo)體工業(yè)中的典型臭氧化過程(如下圖2)
超純水中氮氣和氫氣測量
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